... 蝕刻的目的;而乾蝕刻. 通常是種電漿蝕刻漿下的薄膜,反應成具揮發性的生成物,而後被真空系統. 抽離,來進行蝕刻。 ◇反應性離子蝕刻法Reactive Ion Etch,RIE,介於 ...
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