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rie蝕刻原理
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Re: [問題] 關於RIE側壁不夠垂直- 看板NEMS - 批踢踢實業坊
: 原po你好,我碩士班也有花了數個月測試RIE蝕刻 ... 其原理及是將wafer 冷卻到零下一百一十度C,在這種溫度下造成只有物理性蝕刻為主,而幾乎 ...
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「rie蝕刻原理」
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