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rie蝕刻原理
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3、干法蝕刻機台簡介
傳統RIE產生plasma的原理是電場於兩極板之間產生,粒子加速方向垂直與晶圓表面,當RF增加時,plasma會對器件產生損傷。 圖6 粒子在磁場中運動軌跡. CCP ...
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