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rie蝕刻原理
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干法刻蝕模式及原理
除了RIE及ICP機台,MEMS製程最常用到的還有DRIE模式。一、反應離子刻蝕RIE(Reactive Ion Etching)反應離子刻蝕機,是一台非金屬材料刻蝕設備。
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