rie icp 原理反應離子刻蝕(RIE/ICP-RIE). 反應離子刻蝕(RIE/ICP-RIE). 產品介紹反應離子刻蝕(Reactive Ion Etching, RIE)是指在平板電極間施加射頻電壓,通過產生 ...
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