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反應式離子蝕刻機(Reactive Ion Etcher, RIE) - 電漿與薄膜科技 ...

儀器原理：. 在半導體製程中，蝕刻（Etch）被用來將某種材質自晶圓表面上移除。蝕刻通常是利用腐蝕性物質移除部份薄膜材料，以達到產生所需 ...

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