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非晶矽薄膜電晶體液晶顯示器製造

以減少光罩數和製程步驟(4PEP BCE)，有助於減 ... 邊界層，被幫浦(pump) 抽走。 其主要的反應式，則如下： ... (ii) 折射率(RI) 隨N/Si (由NH3/SiH4 流量比) 比例.

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