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產品名稱: 電漿弧監控系統

運用超高頻率達250KHz的先進光學感應技術，能偵測出電漿製程(CVD, PVD, Etch)時微小電漿弧(Micro Arc)，以避免微塵或晶圓線路的 ... RF感應器(VI Probe/RF Sensors) ...

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