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四吋濺鍍機 - ishien vacuum 部落格- 痞客邦

可容納四吋晶圓的轉盤以及加熱器，基座可導入RF&DC電漿作表面處. ... 使用脈衝直流電漿濺鍍。其主要原理是在真空環境，將陰極加至數百伏特電壓.

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