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rf電漿原理
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高密度電漿(High Density Plasma) | ..:: 馗鼎奈米科技股份有限 ...
所謂高密度電漿的定義在低氣體密度與高電漿密度,從原理說明知道電漿形成係靠碰撞,一旦將氣體密度降低的結果就是將電子與氣體分子碰撞機率下降,電子無法有效碰撞到 ...
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「rf電漿原理」
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