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何謂Self Bias: Vdc?＠宸韓科技-從事半導體 - 個人新聞台

RIE即利用Self Bias使荷電粒子的能量具方向性。 •在電極上打入RF電源時，荷電粒子（離子）與電子被交互吸引到電極處。電漿電位的正領域裡，電子流動， ...

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