你即將離開本站

並前往http://www.ee.nchu.edu.tw/OSRC/wb_equipment_content.asp?cid=3&nid=22&pageno=1

電漿輔助化學氣相沈積 - 國立中興大學-光電半導體製程中心

PECVD系統使用射頻（radio-frequency，簡稱RF）電源供應器提供RF電磁波(13.56MHZ) 產生電漿，而腔體內部是以上下兩片極板所構成，此兩片極板通常為鋁製電極，晶片則是放置 ...

確定！ 回上一頁

查詢 「rf電漿原理」的人也找了：

  1. rf generator原理
    2.
  2. RF Plasma
    3.
  3. icp plasma原理
    4.
  4. 電漿鞘層
    5.
  5. rf power原理
    6.
  6. 電漿密度計算
    7.
  7. 大氣電漿原理
    8.
  8. rf matching box原理
    9.