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電漿蝕刻原理 - Tia Coiffure

其系統設備示意圖如圖（八） 圖（八） 電漿蝕刻系統設備示意圖RF電源為MHz之交流射頻電源(Radio Frequency) 反應性離子蝕刻(Reactive Ion Etching 簡稱RIE) 最為各種反應器 ...

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