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電漿清洗(Plasma Cleaning) - 文章資訊 - 原晶半導體設備

與傳統的濕式清潔方法相比，使用電漿進行離子清洗可消除奈米級的工業/天然油脂(oil)與油膏(grease)，並減少6 倍的汙染，包括溶劑清潔殘留物本身。 經電漿 ...

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