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rf電漿原理
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真空鍍膜技術- 俊尚科技
而採用RF的濺鍍技術則可用於金屬材質與介電材質的製程,射頻電源正負電壓會在兩極 ... 電漿輔助化學氣相沈積(PECVD)是CVD技術中的一種,其沈積原理與一般CVD並沒有太 ...
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