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高效能HIT太陽能電池之鈍化層製程研發 - 行政院原子能委員會

Si4H9/SiH3 flux ratios for the 80 MHz RF plasma are much higher than ... 密度環境下，能藉由雙駐波疊加原理有效改善其均勻性，電漿密度.

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