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Thin-Film Deposition Principles & Practice

電漿 助長型化學氣相沈積法，此為利用一般CVD系統之熱. 能外，另加電漿能量。 ... 圍，加上一組環繞的RF線 ... 原理：當電流(I)通過一電阻(R)時會產生熱能，其功率(P)正.

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