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rf電漿原理
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電漿- 維基百科,自由的百科全書
其背後的原理是湯森德突崩(英語:Townsend avalanche):初始電離所釋放的電子,在每次撞擊中性原子時,都會再釋放一顆電子,如此類推,迅速產生一連串的連鎖電離反應。
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