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探針接觸特性對於晶圓良率測試之研究.pdf 7页 - 原创力文档

藉由佈局圖，可做成晶圓加工製程中所需要的各道光罩(mask or reticle) 。 ... 圖6 探針卡與測試傳輸介面[6] (a) 圖9 晶粒的Pad 排列與針痕差異圖(b) ...

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