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第一章緒論 - 國立交通大學機構典藏

合差異稱為覆蓋誤差，覆蓋誤差過大而超過design rule 設計規範將導致元件短路或斷路 ... 與作用的區域，藉由光罩（Mask），或倍縮光罩（Reticle）將元件設計圖樣之電路 ...

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