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製造半導體結構的方法

... 積體電路設計圖案的光罩(photomask)(也稱為遮罩(mask)或十字標線片(reticle))10 ... 或減弱曝光強度)，曝光強度的差異可藉由各種方式達成，例如第39至41圖的說明。

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