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掩模 - 中文百科知識

為了區別接觸式曝光中使用的掩模，投影式曝光中使用的掩模又被稱為倍縮式掩模（reticle）。 掩模版（mask）簡稱掩模，是光刻工藝不可缺少的部件。掩模上承載有設計 ...

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