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義守大學工業工程與管理學系

正型光阻；反之，曝光部分不溶於顯影劑，晶圓上定義出之圖案與光罩上之圖案相反者 ... 光罩(reticle)的主體是由平坦且透明的玻璃所構成，使用的玻璃材料視使用之光源而.

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