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Canon FPA-3000i5+ Stepper

即會造成如圖六之現像，而旋轉發生的原因與光罩本身有無旋轉有關連，故此項. 補正常常與光罩旋轉補正（Reticle Rotation）互為因果。圖六之實線為正常圖案，.

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