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微影制程之《Mask/Reticle》篇（转） - 智于博客

光罩 (土话叫光刻版)，英文名叫Mask，也叫Reticle(因为早期的对位是十字线)。通常有5寸和6寸两种大小，5寸光罩主要用于5寸和6寸的FAB生产线，而6寸 ...

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