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國立交通大學機構典藏：研究半導體光罩缺陷消除技術

關鍵字: 光罩;析出物;重複性缺陷;reticle;haze;repeating defect. 公開日期: 2015. 摘要: 全球光罩都遭遇到析出物造成晶片缺陷的問題，尤其是愈先進製程的光罩愈 ...

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