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積體電路廠進行光罩監測的Total ReQualTM 解決方案 - KLA

為先進設計節點提供業界領先產能的可選組態(X5.2)；以及. 與KLA-Tencor 的eDR-7000 電子束檢測平台獨特相連，提升對晶圓上的缺陷群進行.

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