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電漿蝕刻SiC 材料與微型模具製作之研究

內能及動能遠高於其他三態下的物質，因此電漿也稱之為物質的第四. 態，如圖2.7 所示[26]； ... （Reflection Power）的大小；反射功率的大小還可藉由控制電容的位置.

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