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半導體廠含IPA廢水經氧化轉換為acetone之研究

追溯至製程發現半導體廠的濕式製程中使用過氧化氫(H2O2) 搭配無機酸鹼用來清洗晶圓， ... 由廢水管排放(Drain)到廢水槽集中處理後排放，或由經回收管路回收(Reclaim)再 ...

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