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300mm 單晶圓濕洗系統之介紹與應用

屬雜質,無需SC-2清洗,它可以取代RCA. 製程,並提高清洗的速度,在300mm 單晶圓. Oasis Clean系統的反應室裏,僅需2分鐘. 便可完成清洗步驟,較一般批次式(batch).

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