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國立臺灣師範大學機電科技學系碩士論文指導教授：劉傳璽博士 ...

圖3.4 本次實驗的試片製作流程圖. ... 電性； (2) 使用RCA 清洗(RCA clean)去除晶圓的雜質及鹼金屬離子； (3) ... TEM 的功用是要來了解.

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