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ラザフォード後方散乱分析装置(RBS) 弾性反跳検出分析装置 ...

ラザフォード後方散乱分析(Rutherford. Back Scattering; RBS)とは、試料表面に対し. てヘリウムイオン(He+)、窒素イオン(N+)な. どを照射し、試料表面の組成(すなわち構成 ...

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