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rbs分析
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第一章緒論
由於所得薄膜的確切組成和晶相與靶材成份和預期形成的相差異. 甚大,我們進一步利用RBS 來對樣品成份作進一步分析。背向散射α. 粒子的能量,係由待測靶材內被撞擊的特定 ...
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