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CN102484070A - 用于铝-硅氮化物的化学气相沉积处理

RBS分析 通常允许通过测量入射在样本上的后向散射的氦离子的能量损失谱来确定出现在薄膜中的原子种类的类型以及它们相对彼此的相对浓度。RBS的优点在于，不用关心样本中 ...

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