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ラザフォード後方散乱分光法(RBS) | 表面分析

ラザフォード後方散乱分光法(Rutherford Backscattering Spectrometry：RBS)について掲載。後方散乱スペクトルの解析から、深さ方向の組成分布を得ることが可能です。

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