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rbs分析
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MST|[RBS]ラザフォード後方散乱分析法
RBS は固体試料にイオンビーム(H +,He ++ )を照射し、ラザフォード散乱によって後方に散乱されてくるイオンのエネルギーおよび強度を測定する手法です。
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