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2018/7/13(五)【日本專家授課】 邁向R2R的FPD製造實現

5．薄膜電晶體（TFT）和可撓性5.1 Si系 5.2氧化物半導體 5.3有機半導体5.4 顯示器的種類和TFT所要求的性能 6．R2R對應製造裝置6.1 成膜裝置(1) 濺鍍(2) PECVD

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