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多變量自適應控制應用於半導體R2R製程 - 博碩士論文網
在最近幾年R2R控制技術的發展常應用於多變的半導體產業,而R2R控制的原理整合了反應曲面、工程製程管制及統計製程管制等基礎理論,其控制的主要目標是透過可控變數的 ...
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