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先進製程控制技術(APC)導論 - 數位學習- 高雄市立空中大學

Run-to-run control（R2R）的基本概念是透過Wafer於前製程的量測值或是製程後的量測值，微調該製程的Recipe的某個或某幾個參數設定值[3]。如圖六所示，R2R ...

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