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成果報告資料顯示 - 工程科技推展中心

中文計劃名稱, 半導體製程多變量最佳化批次控制之研究(2/3) ... 中文摘要, 本研究提出一個具處理雙反應多變量且適用於R2R 製程的最佳化控制器。

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