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物理信息灵通的半导体制造运行控制框架,Expert Systems with ...
几十年来,“运行到运行”(R2R)控制器已广泛应用于半导体制造中。它们根据从过程中获得的计量测量值及其与目标设定值的偏差,对关键过程参数进行操作 ...
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