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CN111190393B - 半导体制程自动化控制方法及装置

若每批次加工单个晶圆(wafer)，此种情况下R2R控制的组态形式为W2W。 R2R主要的计算逻辑是利用当前制程生产后的量测结果反馈(Feedback)或者历史制程生产后的量测结果 ...

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