顯影製程之解析度R = K1λ/NA. • 為增加解析度,:NA ↑ 或λ ↓. • DOF = K2λ/2(NA)2, 兩者皆藉由降低DOF以達 ... 鎢的化學機械研磨取代回蝕刻. • 銅連線.
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