所需之水可從驟冷(quench) 噴水處受熱汽化提供。 但此解釋尚需小心實驗求證與化學反應分析。針對. 較高濃度及流量的CF4 廢氣,則必須提高火炬功率. 才能有較高的去除效率 ...
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