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一种pvt法碳化硅单晶炉保温系统的快速纯化方法 - Google

[0004] 因此，为保障碳化硅晶体的高纯度，就需要尽可能的降低氮的含量，目前的碳化硅单晶生长系统中，尤其是保温材料，是杂质的重大来源之一，而供货商均无法保障其进货时 ...

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