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前言 - 工業技術研究院

太陽電池鍍膜製程為了薄膜的品質，乃考量要. 求膜厚與阻值的均勻性，其最常用的真空鍍膜製程. 設備為PECVD、PVD 等。而太陽電池基板必須要在真.

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