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遮蔽装置、具有其的pvd设备及pvd设备的控制方法 - Google

本发明提出一种遮蔽装置、具有其的PVD设备及PVD设备的控制方法，包括：托板，所述托板包括连接部和承载部，所述承载部呈圆环状，所述圆环状的承载部的中心孔包括上孔部 ...

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