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晶圓製造主要設備一覽,與PVD、CVD緊密相關 - 人人焦點

對應於PVD技術的三個分類，相應的真空鍍膜設備也就有真空蒸發鍍膜機、真空濺射鍍膜機和真空離子鍍膜機這三種。 CVD是英文Chemical Vapor Deposition的縮寫 ...

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