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關注半導體設備:PVD設備應用材料一家獨大,北方華創部分替代
PVD 技術是製備薄膜材料的主要技術之一,在真空條件下採用物理方法,將某種材料氣化成氣態原子、分子或部分電離成離子,並通過低壓氣體過程,在基板材料 ...
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