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122 - 金屬工業研究發展中心
熱電子源輔助類鑽碳膜(DLC)濺鍍技術. 高效能鍍膜實驗室目標為建立PVD鍍膜高速沉積製程核心關鍵技術,包括熱電子源模組、高功率濺鍍靶源模組、電子束蒸鍍源模組、複合靶 ...
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